消色差透镜设计及公差分析
参考Donald Dilworth《Lens Design Automatic and quasi-autonomous computational methods and techniques》书第十二、十三章
|~NeB"l{ JuJ5qIal 首先,消色差透镜的初始结构设计代码如下: |R~;&x:
RLE !读取镜头文件 t<lyg0f
ID F10 APO !镜头标识 raQYn?[
WAVL 0.65 0.55 0.45 !定义三个波长,按照长波到短波顺序排列 >eo8
APS 3 !光阑面为表面3,程序会执行一个光瞳来重新计算YP1和XP1,而忽略输入的YP1和XP1值。 Ekf2NT
UNITS INCH !透镜单位为英寸 3wNN<R
OBB 0 0.5 2 -0.01194 0 0 2 !物体类型为OBB,0-入射边缘光线角度(针对无限远物),0.5-半视场角,2-半孔径,-0.01194-表面1上主光线高度,负号是指光线在图像下端;后面三个参数表示光线在X-Z平面的相应值
0 AIR !物面处于空气中
qJMp1DC 1 RAD -300.4494760791975 TH 0.58187611 !表面1的半径,厚度
@3 "DBJ 1 N1 1.60978880 N2 1.61494395 N3 1.62386887 !
玻璃类型为N-SK4的三个波长折射率被精确指定
(46U|P(v 1 GTB S 'N-SK4 ' !表面1玻璃类型为N-SK4
s1=u{ET 2 RAD -7.4819193194388 TH 0.31629961 AIR !表面2在空气中的半径,厚度
LXxl ?D 2 AIR !表面2处于空气中
^
wQcB 3 RAD -6.8555018049530 TH 0.26355283 !表面3的半径,厚度
r}@< K 3 N1 1.60953772 N2 1.61628830 N3 1.62823445 !玻璃类型为N-KZFS4的三个波长折射率被精确指出
[+DNM
2A 3 GTB S 'N-KZFS4' !表面3玻璃类型为N-KZFS4
/nM*ljfB\ 4 RAD 5.5272935517214 TH 0.04305983 AIR !表面4在空气中的半径,厚度
\>[gl!B_Rr 4 AIR !表面4处于空气中
~~dfpW _" 5 RAD 5.6098999521052 TH 0.53300999 !表面5的半径,厚度
yS"0/Rm} 5 N1 1.66610392 N2 1.67304720 N3 1.68543133 !玻璃类型为N-BAF10的三个波长折射率被精确指出
a}D&$yz2 5 GTB S 'N-BAF10' !表面5玻璃类型为N-BAF10
y Hw!#gWM 6 RAD -27.9819596092866 TH 39.24611007 AIR !表面6在空气中的半径,厚度
j?J=w=.Nx 6 AIR !表面6处于空气中
?M<|r11} 6 CV -0.03573731 !表面6的曲率
}2xb&6g~o 6 UMC -0.05000000 !UMC求解表面6的曲率,并给出相对于光轴的近轴轴向边缘光线角U的规定值。U的正切值为1/(2*FNUM)=0.05,负号表示边缘光线在图像下端。
6 TH 39.24611007 !表面6的厚度
4H9xO[iM 6 YMT 0.0000000 !YMT求解在表面7上指定的轴向边缘光线高度为0时所对应的厚度
fiqj;GW 7 RAD -11.2104527948015 TH 0.00000000 AIR !表面7(像面)的半径,厚度
},3R%?89% END !以END结束
SD I,M "GB UQ} ~$ WQ"~z 运行上述代码后,点击图标
打开PAD二维图,得到消色差透镜的初始结构,如图1所示:
8 )`5P\ g[<uwknf 图1 消色差透镜的初始设计
~p!QSRu~,b 点击PAD图中的图标
,打开玻璃表,已经选中玻璃库Schott,这是我们先前指定的玻璃库,点击OK,得到显示Nd和Vd的玻璃图,如下图: }'_ :XKLj
[r~~=b7*[ 绿色圆圈旁边的数字表示目前三片式透镜表面1、表面3、表面5,即被定义了玻璃类型的表面。
)XZ,bz*jn 而我们关心的是色散特性。所以需单击‘Graph’按钮,然后单击‘Plot P(F,e)vs.Ve’,再点击‘OK’。
mZ &]
P#9-bYNU 得到玻璃的色散图如下:
WFks|D:sB
u"joCZ7`kG 现在,我们查看表面1的玻璃
材料的性能。具体操作:单击数字1的绿色圆圈,然后单击‘Properties’按钮。最后表面1的玻璃材料N-SK4的性能如下:
dK7 ^
.?7So3 图中显示,N-SK4的酸度(Acid)等级为5,湿度等级(Humidity)为3;此玻璃暴露在空气中的性能不稳定。因此,需要更换一种玻璃材料。
4w2L?PDMi 如何选取更换材料?首先我们单击'Graph'按钮,选择‘Acid Sensitivity ’,点击‘OK’,得到下图,图中玻璃位置处的红色垂线表示酸敏感度,垂线越长,玻璃越不耐用。
^)'||Ly _4S7wOq5
L/%xbm~ 1r&AB!Z # 从图中,我们发现N-BAK2根本没有线,可以选取其作为更换材料。
M%77u=m *xho 于是,单击N-BAK2符号,名称出现在右侧窗口时,在‘Surface’中填写‘1’,然后点击'Apply',这样就为表面1分配了玻璃类型N-BAK2。
_"`/^L`Q?
"URVX1#(r -hm9sNox 另外,N-BAK2的特性如下,其酸碱度等级为1,湿度等级为2,而且价格也比N-SK4低:
[/n'@cjNZ
@~Rk^/0 {S# 5g2 现在PAD图中的透镜
像差非常差,这是因为表面1更换玻璃N-BAK2后,还未进行
优化,如图2所示:
0$(jBnE *+# k{D,
|oB]6VS` *,_2hvlz 图2更换玻璃N-BAK2后的消色差透镜
|c
BHBd 接下来,运行下面代码对透镜进行优化,代码如下:
csm?oU niz PANT !参数输入
yA457'R1 VLIST RAD 1 2 3 4 5 7 !改变表面1、表面2、表面3、表面4、表面5以及表面7的半径
(rMTW+, VLIST TH 2 4 !改变表面2和表面4的厚度
7jD@Gp`" 3 END !以END结束
~9]Vy
(L o<Ke3?J\ AANT !像差输入
W'8J<VBD AEC !自动控制玻璃元件和空气间隙的边缘羽化,防止边缘厚度太薄
qRWJ-T:!F ACC !自动控制玻璃元件的中心厚度,防止中心厚度太厚
y0lL Fe~ GSO 0 1 4 M 0 0 !校正0视场弧矢面中产生的光线网格OPD像差;0-孔径权重占比,1-权重,4-光线数,M-多色,0-Y视场,0-X视场;
il<gjlyR]L GNO 0 .2 3 M .75 0 !校正0.75视场光线网格OPD像差
i,^>uf GNO 0 .1 3 M 1.0 0 !校正全视场光线网格OPD像差
6YB-}>? END !以END结束
8VKb* VN1#8{ SNAP !设置PAD更新频率,每迭代一次PAD更新一次
"1E?3PFJ
SYNO 30 !迭代次数30次
ei(|5h 优化后的消色差镜头结构,如图3所示。由图可知,此透镜的校正的光程差优于1/4波长。并保存镜头文件,命名为'C12L2.RLE'。
F12S(5Z0% GWVEIZ
图3 通光更换玻璃后重新优化的消色差透镜
15RI(BN 接着,我们查看离焦在新设计中随波长的变化,如下图。运行以下代码:
~ly`u CHG !改变镜头
GXGN;,7EV NOP !移除所有在透镜上的拾取和求解
&4a~6 END !以END结束
*s
1D\/H PLOT DELF FOR WAVL = .45 TO .65 !绘制离焦在波长0.45um~0.65um范围内的变化
w?*'vF_2:# Zz{[Al{
}C9VTJs| ]M02>=1 离焦随波长变化的数据分析,分析表明在设计波长范围内的离焦大约为0.0026英寸。
n C\(+K1%
eU<]h>2 mJU>f-l 透镜具有完美的艾里斑,通过图像工具(MIT)计算,并且为透镜分配了十个波长,在中心产生良好的白色,并具体相干效果。如下图。
f4qS OVv
@*AYm-k +;{rU& 现在,我们计算消色差透镜的公差。首先移除表面6上的曲率求解。代码如下:
'lSnyW{ CHG
*=r@vQ 6 NCOP !移除表面6的曲率求解
pRb+'v&_k END
$u(M 4(} j58Dki->. 然后,在CW命令窗口输入MSB,进行BTOL设置,如图:
Y,p2eAss
`"-`D!U?$ j@!BOL~? 其中,数字2-设置统计可信水平为2个sigma,则在一大批透镜中应有99.53%透镜的像质等于或优于要求。
CYY
X\^hA 在CW中看到预期的结果如下图。图中表明轴上像质将会有0.05的变动。
m&;zLBA; KR+ aY. 预测的公差如图所示。由图可知,透镜1和透镜2之间的空气间隔公差为0.00157英寸。透镜2和透镜3之间的空气间隔公差为0.000426英寸。
hvwnG>m\ 透镜2的V-number的公差为0.05359。同时该透镜保持0.00024的共轴性。
23.y3t_? 10a=YG t\E-6u 现在呢,公差太小,没有办法按照预估公差来制造透镜。所以怎样将公差放大呢?
Vf#oKPP1 在CW中输入THIRD SENS:
98<bF{#0WM 6=aBD_2@ &eLQ;<qO*| U[H+87zg SAT的值为8.363,即每个表面对球差SA3贡献的平方和为8.363。接下来,通光减小SAT值,来降低公差灵敏度,放大公差。
wjw<@A9 QZz{74]n 优化宏代码如下:
pEqr0Qwh PANT
[7ek;d;'t VLIST RAD 1 2 3 4 5 7
X8NO;w@z# VLIST TH 2 4
D| 8sjp4 END
H_xQ>~b AANT
(PE8H~d AEC
RLeSA\di ACC
;Fwm1ezx0 M 4 1 A SAT !SAT的目标值为4,权重为1;
>V ]*mS%K GSO 0 1 5 M 0 0
P*nT\B GNO 0 .2 4 M .75 0
l%Fse&4\ GNO 0 .1 4 M 1.0 0
SFXfo1dqH END
Oujlm| SNAP
<LOx.}fv SYNO 30
o 0cc+ E?;T:7.% GYy!`E 优化后的透镜结果,如图4所示:
.,BD D PFB Xk$l-Zfse 6vp8LNSW 图4 减小SAT值,优化后的消色差透镜
/d]V{I~6 V+@%(x@D_ 现在的THIRD SENS为:
WEY97_@ %I2xK.8= 接下来,我们通过编辑BTOL宏来计算公差。
&xMJ^Nv 6@Z'fT4 新BTOL宏代码如下:
U{:(j5m CHG
ofJ]`]~VG NOP
@{$Cv"6769 END
%N AFU/& #|*,zIYo BTOL 2 !设置置信区间
f 7QUZb\ p'w"V6k('~ EXACT INDEX 1 3 5 !表面1,表面3和表面5的折射率是精确的
,oi`BOh EXACT VNO 1 3 5 !表面1,表面3和表面5的V-number是精确的
Xxsnpb> )su
<Ji* TPR ALL ! 假定所有表面与
光学样板匹配
DJ2]NA$Q* TOL WAVE 0.1 !最大波前变化值为0.1
^Hhw(@`qf ADJUST 6 TH 100 100 !调整表面6的厚度,第一个数字100是指一组移动的表面数目;第二个
%(7wZ0Z 数字100是指允许的最大调整值;
Hr8$1I$= .8uwg@yD PREPARE MC !自动准备一个调整文件,以便后续的MC运行需使用该文件来检查统计信息
nluyEK ^xkppN2 GO !BTOL输入文件的最后输入,并执行程序
lVp~oZC6[ STORE 4 !透镜结果储存在透镜库的位置4
{-7yZ]OO$ 运行BTOL宏之后,公差稍微宽松一点,如下图:
y:6'&`L 1j)!d$8 接着,运行MC程序来检查透镜情况。在CW中输入:SYNOPSYS AI> MC 50 4 QUIET -1 ALL 5;此命令将会测试一批储存在透镜库4中的50片透镜,按照上述预计公差来制作透镜,然后监控比较这一批透镜的统计数据,将最坏的透镜情况保存在透镜库位置5。
QGCdeE$K \eSk7C 在CW窗口输入:MC PLOT,得到MC直方图:
8UY=}R2C
UEYM;$_@4o {uQ)p= 现在测试最坏的透镜。点击

,在CW中输入GET 5,即将MC最坏的透镜放在ACON2中,如图5所示。
_2Xu1q.6~5
SAo\H `J7Lecgo 图5 MC最差透镜情况。必须制造调整。
LXfeXWw?, 于是,对保存在透镜库4的透镜进行制造调整。使用FAMC指令(FAMC是制造调整MC)分析统计数据。代码如下:
/5'<w( FAMC 50 4 QUIET -1 ALL 5 !测试透镜库4中的50片透镜,按照预计公差来制作透镜,然后监控对比所有透镜质量,将最坏透镜结果保存在透镜库5
&)f++(i PASSES 20 !对第一阶段(PHASE 1)优化的迭代次数
-$MC FAORDER 5 3 1 !透镜制造序列,按难度排序,最复杂的透镜放首位
bZlLivi 0jZ{ ? PHASE 1 !第一阶段,优化透镜参数
P)j9\ muc PANT
JW.&uV1Z VLIST RAD 1 2 3 4 5 6
SlJ/OcAf# VLIST TH 2 4 6
O> ^~SO END
E `j5y(44 41Q AANT
\t(r@qq GSO 0 1 5 M 0
RDZh>K
PG GNO 0 1 5 M 1
#vZ]2Ud=2 END
~Z/ `W` SNAP
A=[f>8 EVAL !必须以EAVL结束,第一阶段已经将透镜公差应用于透镜本身,然后依次完成所有透镜制作
GTIfrqT 3%4Mq6Q` PHASE 2 !第二阶段,只优化不包括在第一阶段中的透镜参数和评价函数
,4T$ PANT
BNoCE! VY 3 YDC 2 100 -100 !改变表面3的Y方向偏心,上限为2,下限为100,增量为-100
<7-,`
VY 3 XDC 2 100 -100 !改变表面3的X方向偏心
0B:{4Lsn& VY 5 YDC 2 100 -100
}(%}"%$ VY 5 XDC 2 100 -100
>,]e[/p VY 6 TH !改变表面6的厚度
B+[Q$Q" END
}b\q<sNE{ AANT
h|uP=0 GNO 0 1 4 M 0 0 0 F
:-@P3F[0 GNO 0 1 4 M 1 0 0 F
b|@op>UZ END
S^`9[$KH0 SNAP
sU_4+Mk SYNO 30
W9m[>-Ew H_f2:Za PHASE 3 !第三阶段;当遇到第三阶段的输入,程序循环整个过程
4k?JxA) b0=AQ/: 运行代码之后,得到带有制造调整的MC的最差透镜情况,如图6所示。
; Kb[UZ1
7MJ)p$& <21^{ yt1 图6 带有制造调整的MC最差透镜情况。
2DqHqq9m 再次在CW中输入MC PLOT,得到MC直方图:
%f(.OR)6{
f#Oz("d c(g^*8Pb
[>9"RzEl !4cdP2^P 相应的局部放大轴上视场直方图
/2V',0 打开MPL对话框设置后,透镜元件2的ELD绘制出图: 5)NfZN#&