Simulator是Essential Macleod的新增功能, 可以帮助我们回答这个问题。
`)_FO]m}jS 光学薄膜中的
公差评定是个实际问题。没有一个好的、通用的分析技术。Essential Macleod里的一个简单工具-Errors, 假定所有膜层中的厚度误差都是随机的,能够显示在许多薄膜中独立控制命令不可能精确,而用其它的方法确实能够构造这些薄膜。实事上,公差和误差的影响很大程度上依赖于控制技术。通过将误差的Monte Carlo近似扩展到控制过程的实际
模型中去,Simulator解决了公差问题。
Olrw>YbW jtC ob'n8 使用由Runsheet创建的控制设计, Simulator模拟沉积的控制,同时引入随机和
系统效应,如信号中的噪声,加工因素的不同,
材料密度误差等等,并且显示这些
参数对最后
模拟的薄膜产品的影响。
k5<