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    [求助]关于磁控溅射薄膜表面的平整度？ [复制链接]

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    离线mainbomb
    实习生
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2006-12-11
    一般的磁控溅射仪器对薄膜的表面能达到什么量级的平整度？ MbT ONt?~v  
    Qd&d\w/  
    如果在两次相同的条件下，表面的平整度差别比较大可能是什么原因引起的呢？  :V5!C$QV  
    i{1)=_$Vt`  
    非常感谢！！
     
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    离线mainbomb
    实习生
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-03-11
    这么久了还是没人理啊
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    离线j123456789
    实习生
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    光币
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-04-09
    你指的是表面粗糙度 还是其它意思?
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