[求助]关于镀膜机蒸镀的问题 [复制链接]

今天弄新镀膜机(8kw)，第一次蒸镀，工艺参数是按照老镀膜机（6KW）设定的，工艺菜单里功率设低百分之5 Dy&i&5E.-l  
在蒸镀预溶的时候，屏幕显示的速率已经超过了Y轴最大范围，并且提示是最小功率，我看坩埚里的药都飞溅了，粒子数最高的时候是400多，沉积的时候是正常的。 {Xy5pfW Q  
这种情况怎样解决，有懂的前辈指导下吗？ 372rbY  
我也是个刚毕业的小白

用的药是MGF2和H4

速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。

1.是电子枪还是阻蒸？ 7:1Lol-V  
2.预熔怎么会有最大速率？ :o3N;*o>)0  
3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ C6PdDRf  

1电子枪 _[BP0\dPW  
2那个速率是选择工艺菜单那个屏幕上的，预溶的时候不是有曲线吗，那个速率 @0''k  
3最小功率是溶MGF2，设的15

贾松山:1.是电子枪还是阻蒸？ Y0> @vTUX  
2.预熔怎么会有最大速率？ ^rz_f{c]-  
3.最小功率是对应什么材料的？功率多少？ n+p }\msH  
 (2017-12-25 08:44)  s#MPX3itK  

3c%caK  
回复错地方了 看4楼

ouyuu:速率受光斑大小影响更大。你可以尝试把光斑变大些。 (2017-12-25 00:36)  ])!*_  

pXUS
Ls  
下次 我试一试

让预熔爬升的时间长点

gaofei5588:让预熔爬升的时间长点 (2017-12-26 14:58)  5xBbrU;  

*v`eUQ:  
这个时间在哪里设置呀

学习使我快乐:这个时间在哪里设置呀 (2017-12-26 19:46)  zda 3 ,U2o  

uD'6mk*  
你用的啥机器