(1)关闭泵加热系统,然后分离蒸镀室(主要清洁灰尘,于蒸镀残渣) }ut]\]b
(2)关闭电源或程序打入维护状态 m` AK~O2
(3)清洁卷绕系统(几个滚轴,方阻探头,光密度测量器) wucV_p.E
(4)清洁中罩室(面板四周) <=K qcHb
(5)泵系统冷却后打开清洁(注意千万不能掉入杂物,检查泵油使用时间与量计做出更换或添加处理) Aj>[z8!,
(6)检查重冷与电气柜设备 C@\{ehG
这只是大概,主要还是平时的清洁,蒸镀后一定要清洁干净(注意小规格与超薄膜时更要清洁仔细)