(1)关闭泵加热系统,然后分离蒸镀室(主要清洁灰尘,于蒸镀残渣) jt{9e:2%
(2)关闭电源或程序打入维护状态 O' +"d%2'
(3)清洁卷绕系统(几个滚轴,方阻探头,光密度测量器) *u>lx!g
(4)清洁中罩室(面板四周) 90/vJN
(5)泵系统冷却后打开清洁(注意千万不能掉入杂物,检查泵油使用时间与量计做出更换或添加处理) "z^(dF|
(6)检查重冷与电气柜设备 ~|r~NO
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这只是大概,主要还是平时的清洁,蒸镀后一定要清洁干净(注意小规格与超薄膜时更要清洁仔细)