1楼：一般是杂质或者膜质不均匀造成的。
杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在 ..

2楼：我是高温镀的TI3O5，设定320°，射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5，测试片表面蒙蒙的，是 ..

3楼：ouyuu:一般是杂质或者膜质不均匀造成的。
杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5 ..

4楼：建议降低温度，调节充氧量试试

5楼：温度太高了。降到200°以下试试。离子源本来就有加热作用。