回帖：光栅是光谱分析、光通信和高功率激光系统中的重要光学元件，其占空比、槽深等微结构参数直接影响衍射效率和器件性能。传统AFM、SEM等直接测量方法存在离线、效率低和样品损伤风险，常规散射计量反演又受制于建模复杂度和计算成本，难以满足快速、非接触测量需求。