回帖：Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。
Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。
做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。
还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。