回帖：1.先调试电子枪和离子源找一个稳定的条件，比如电子枪光斑大小，速率稳定，真空稳定。离子源各项参数充气也要稳定。
2.然后再镀镀单层膜做均匀性，折射率。tooling。
3.重复性一定要做。
4.然后根据以上参数设计膜系。
以上每步做好参数调节记录，调试中有问题好去处理。