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主题:清华大学在跨尺度结构混合光刻制备技术领域取得重要进展
回帖:研究提出的混合光刻策略在工艺通用性、图案可扩展性与系统集成度等方面均表现出显著优势,为复杂光学元件的高精度制造提供了有效路径,具有良好的工程应用前景和重要的研究价值。
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