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清华大学在跨尺度结构混合光刻制备技术领域取得重要进展
回帖:融合绝对编码的混合光栅方案,实现亚纳米级精度的绝对式测量。
photonpool
回帖于2025-09-22 09:40
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:以掩模光刻和干涉光刻为核心,通过多步曝光流程,在同一基底上构建周期性纳米结构与非周期性微米 ..
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photonpool
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