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主题:清华大学在跨尺度结构混合光刻制备技术领域取得重要进展
回帖:研究团队构建了可多自由度调节的干涉曝光系统,集成了双光束干涉曝光及高精度条纹锁定系统,通过动态的相位锁定,实现区域内的高一致性图案加工。
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