回帖：quan6658:镀红外膜用霍尔源是比射频源更好吗？我们用霍尔源镀红外膜料，怕膜料氧化，离子源充气都是氩气，结果气体分配片消耗好大，感觉气体分配片的金属都镀到膜里面去了，气体分配片用不了40小时就穿孔了，这个该怎么去设置气体？是不是还是要充一些氧或者改用特殊材质的气体分配片，现在 .. (2025-08-30 16:44) 
射频源因为离子速度高（加速电压高），所以对折射率的提高比较大，
也就是说折射率的稳定性来讲，射频源不如霍尔源。（因为霍尔源提高不多）
红外膜因为厚度大，如果没有直控的话，确实霍尔源要比射频源更容易控制。
因为折射率来讲霍尔源更稳定。
红外膜料是硫化锌吗？硫化锌只能用氩气。
气体分配片你可以选用一些高熔点的金属做，不过成本会很高。
比如说钨、钼、石墨……