回帖：研究人员建立了考虑固体传热、流体流动和结构力学的多物理场耦合模型，揭示了扫描轨迹的形成机制。研究表明，反冲压力与马兰戈尼效应协同作用会诱发熔池振荡并形成扫描轨迹。通过优化抛光时间可以大幅降低表面粗糙度，同时避免扫描轨迹生成。此外，针对工业激光器功率波动导致的不可控扫描轨迹，提出激光双面抛光的方法。实验证实激光双面抛光可使面形RMS值从0.433λ降至0.194λ，粗糙度由0.371 nm改善至0.270 nm，且0%概率损伤阈值从19.4 J/cm²提升至21.2 J/cm²。该研究不仅阐明了激光抛光中面形恶化的多场耦合机理，更为实现亚纳米精度、高损伤阈值熔石英元件的可控制造提供了工艺范式。