首页| 论坛| 消息
主题:使用半导体光刻工艺量产平面透镜
回帖:研究制造的平面透镜是一种称为菲涅耳透镜,它是不同宽度的环的同心排列。 环的宽度和间距在外侧减小,在最外层达到约 1 微米(图 2,右)。 这个环需要阻挡光线,在这项研究中,我们使用 JSR Corporation 开发的一种称为彩色光刻胶的特殊光刻胶制造了一个平面透镜。 这种光刻胶是一种在半导体微细加工过程中可以形成微图案的光刻胶,具有吸收特定波长和阻挡光线的特性。 因此,这种彩色光刻胶可用于仅使用半导体曝光工艺生产菲涅耳透镜。
下一楼›:半导体光刻工艺量产平面透镜
‹上一楼:使用半导体光刻工艺量产平面透镜

查看全部回帖(13)
«返回主帖