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主题:增透膜 TFCalc小白可以进来看看
回帖:关于石英监控我想补充一下:石英跳频现象
拿我们厂里的龙翩机台来说,经常会有跳频现象,跳频会产生多镀和少镀,发现不了就挂卡,有的时候跳频现象出现在较薄的膜层时,即使发现了补镀也会有相当的风险,所以非常麻烦。这个毛病一般去固定机台和石英监控器两端的接口就能解决。
韩国机台用的英福康的石英监控系统,虽然蒸发速率忽上忽下,不过很稳,很准,一个字屌!不过这位大哥速率有时会跳9999,解决办法同上。
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