摘要

可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。

傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）

建模任务

单次FMM仿真结果

参数扫描（1D）

参数扫描（2D）