光整形>衍射光学

任务说明

灵活地导出制造数据：
- 平滑的界面
- 量化界面
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列

亮点
 导出各种表面形状的制造数据
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面

一般界面的制造数据

支持文件格式：
- 纯文本
- ASCII码
- 点云
- CAD格式（例如，STL，IGES）

STL导出平滑界面（例如Asphere）

采样高度剖面的STL导出

量化界面的GDSII导出
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。
 这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。