最近在接触一家做IBS和IBE设备的日本厂家。他们想调查一下中国市场有没有前途。
我这几天去了上海慕尼黑光电展，看了一些IBS和IBE的产品，基本上产品的领域很窄。

那家厂家做的IBS的基本情况是这样的：
使用的是美国产的离子源（考夫曼博士自家的产品，基本和VEECO一样），所以和VEECO一样有美国输出限制。
实际大概做了十几台，基本上是在日本的一些研究院，台湾的某个客户买了几台做BPF。
大概能做100mm直径的工件一枚，工件厚度最大10mm。
镀膜能做200多层，每层大概几个纳米。
因为是离子溅射镀膜，镀膜速度非常慢，200层左右大概要镀5天左右。
（高于200层因为应力很大，哪怕10mm的板子也会破裂）

产品一般运用在5G通讯，激光，高反射镜，重力波镜，EUV镜上面。
不知道论坛里面哪位是在这个范围内的，这种设备（镀膜慢，工件小）是否在国内有前途？