薄膜设计与镀膜工艺

时间地点

主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司（微信公众号：infotek）；苏州黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary）

授课时间：2024年12月4 (三）-6（五）共3天  AM 9:00-PM 16:00

授课地点：上海市嘉定区南翔银翔路819号中暨大厦18楼1805室

课程讲师：讯技光电高级工程师&资深顾问

课程费用：4800RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐)

特邀专家介绍

易葵：中国科学院上海光机所正高级工程师，主要从事光学薄膜设计、制备工艺和测试相关方面的研究工作，尤其是在高功率激光薄膜、空间激光薄膜、X射线多层膜、真空镀膜技术与薄膜制备工艺研究等方面有较为深入的研究。获得国家技术发明奖二等奖、上海市技术发明奖一等奖、上海市科技进步二等奖、军队科技进步二等奖等奖项，入选2014年度中科院“现有关键技术人才”。

课程简介

随着现代科技的飞速发展，光学薄膜的应用越来越广泛。光学薄膜的发展极大地促进了现代光学仪器性能的提高，其种类非常广泛，如增透膜，高反膜，分光膜，滤光片等，光学薄膜器件如今已经广泛应用到光通信技术、光伏产业技术、激光技术、光刻技术、航空航天技术等诸多领域。

本次课程第一天主要为国际知名的光学薄膜分析软件Essential Macleod的使用，第二天为各种类型的光学薄膜的设计模拟方法，前两天主讲人为讯技光电高级工程师，第三天特别邀请上海光学精密机械研究所专家易葵，分享光学薄膜制备工艺、激光薄膜关键技术以及光学薄膜的测量方法等相关内容。

课程大纲

1. Essential Macleod软件介绍

1.1 介绍软件

1.2 创建一个简单的设计

1.3 绘图和制表来表示性能

1.4 通过剪贴板和文件导入导出数据

1.5 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann）

1.6 特定设计的公式技术

1.7 交互式绘图

2. 光学薄膜理论基础

2.1 垂直入射时的界面和薄膜特性计算

2.2 后表面对光学薄膜特性的影响

3. 材料管理

3.1 材料模型

3.2 介质薄膜光学常数的提取

3.3 金属薄膜光学常数的提取

3.4 基板光学常数的提取

4. 光学薄膜设计优化方法

4.1 参考波长与g

4.2 四分之一规则

4.3 导纳与导纳图

4.4 斜入射光学导纳

4.5 光学薄膜设计的进展

4.6 Macleod软件的设计与优化功能

4.6.1 优化目标设置

4.6.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化，差分演化法）

4.6.3 膜层锁定和链接

5. 光学薄膜系统设计与分析案例与应用

5.1 减反射薄膜

5.2 分光膜

5.3 高反射膜

5.4 干涉截止滤光片

5.5 窄带滤光片

5.6 负滤光片

5.7 非均匀膜与Rugate滤光片

5.8 仿生蛾眼/复眼结构

5.9 颜色膜

5.10 Vstack薄膜设计示例

5.11 Stack应用范例说明

6. 薄膜性能分析

6.1 电场分布

6.2 公差与灵敏度分析

6.3 反演工程

6.4 均匀性，掺杂/孔隙材料仿真

7. 真空技术

7.1 常用真空泵介绍

7.2 真空密封和检漏

8. 薄膜制备技术

8.1 常见薄膜制备技术

9. 薄膜制备工艺

9.1 薄膜制备工艺因素

9.2 薄膜均匀性修正技术

9.3 光学薄膜监控技术

10. 激光薄膜

10.1 薄膜的损伤问题

10.2 激光薄膜的制备流程

10.3 激光薄膜的制备技术

11. 光学薄膜特性测量

11.1 薄膜光谱测量

11.2 薄膜光学常数测量

11.3 薄膜应力测量

11.4 薄膜损伤测量

11.5 薄膜形貌、结构与组分分析

报名方式

本次课程针对所有对薄膜有兴趣的人员，不需要任何光学软件基础，如确认报名，请填写报名表，并传真至021-64860709或邮件 course@infotek.com.cn; course@infocrops.com 至讯技/讯稷课程小组

扫描二维码在线填写报名表，工作人员会在收到报名信息的第一时间电话联系确认相关信息。

表单报名如出现异常，请联系工作人员18971148505（微信同号）